title: 晶圆制造材料 date: 2026-06-22
晶圆制造材料
一、硅片:芯片的"地基"
硅片是芯片制造的核心基材,硅片质量直接决定后续光刻、刻蚀、沉积等工序的良率上限。芯片制造对硅片的纯度要求高达11个9(99.999999999%),即每千亿个硅原子中杂质原子不超过1个。
8寸 vs 12寸:成熟制程与先进制程的分界线
| 规格 | 直径 | 面积 | 主要应用制程 | 主要产品 |
|---|---|---|---|---|
| 6寸 | 150mm | 176.7cm² | ≥350nm | 分立器件、传感器 |
| 8寸 | 200mm | 314.2cm² | 350nm-28nm | MCU、模拟芯片、功率器件 |
| 12寸 | 300mm | 706.9cm² | <28nm(先进制程) | CPU、GPU、AI芯片、存储 |
为什么AI芯片几乎全部是12寸?
一片12寸硅片的面积是8寸的2.25倍,可以切割的芯片数量成倍增加。更关键的是,AI芯片普遍采用7nm及以下制程,需要使用12寸硅片的光刻设备和刻蚀设备才能高效制造。HBM(高带宽内存)的TSV工艺、CoWoS封装中的Interposer,都需要12寸晶圆作为载体。
8寸硅片不会消失: 虽然先进制程向12寸迁移,但8寸硅片在成熟制程(130nm-28nm)领域仍不可替代。模拟芯片(ADC/DAC、功率放大器)、MEMS传感器、汽车MCU、指纹识别芯片等大量使用8寸晶圆。2021-2023年的汽车芯片缺货,本质上就是8寸晶圆产能的短缺。
SOI(绝缘体上硅):射频前端的特殊工艺
SOI是一种特殊结构的硅片,在顶层硅和底层硅之间有一层绝缘氧化层(BOX)。这种结构可以实现完全介质隔离,寄生电容极低,特别适合射频前端芯片。
SOI的应用场景:
- 射频开关(RF Switch):5G手机射频前端的核心器件
- 滤波器(Filter):SAW/BAW滤波器
- 低噪声放大器(LNA):信号接收链路
全球格局: SOI晶圆被法国Soitec垄断(份额约80%),其Smart Cut™技术是独门绝技。格罗方德(GlobalFoundries)是SOI工艺的主要代工厂,其RF SOI工艺被苹果、高通等射频芯片广泛采用。
中国的SOI布局:
- 硅产业集团(沪硅产业子公司新硅微)正在布局SOI
- 中芯国际提供RF SOI代工服务,但基础晶圆仍依赖进口
A股硅片公司深度对比
沪硅产业(688126)——12寸硅片国产替代的扛旗者
沪硅产业是中国大陆规模最大的硅片制造商,也是唯一实现12寸硅片大规模量产的厂商。旗下拥有上海新昇(12寸)和新傲科技(8寸/外延片)两家核心子公司。
- 12寸产能:已建成产能约30万片/月,2024年扩产至45万片/月目标
- 客户验证:已通过中芯国际、华虹半导体、长江存储等国内主要FAB厂认证,部分产品已实现量产供货
- 技术突破:12寸正片(用于正式芯片制造的硅片,而非测试片)占比持续提升,毛利率改善
- 财务要点:2024年营收约35亿元,但因12寸产能爬坡折旧压力,净利润率仍处于低位
TCL中环(002129)——光伏硅片王者,半导体硅片追赶者
TCL中环是全球最大的光伏硅片制造商(G12超大尺寸硅片),但半导体硅片业务占比不足5%。
- 半导体硅片:8寸及以下硅片为主,12寸正在验证中,尚未规模化
- 优势:依托光伏硅片的技术积累和成本控制能力,有一定协同
- 劣势:半导体硅片认证周期长,产能布局晚于沪硅产业
立昂微(605358)——功率半导体硅片的隐形冠军
立昂微专注于6寸和8寸硅片,功率半导体和分立器件用硅片是其特色产品。
- 6寸硅片:抛光片和研磨片,用于分立器件制造
- 8寸硅片:部分产品已向12寸演进,化合物半导体用硅片(SiC)布局领先
- 外延片:6寸/8寸外延片产能国内领先,外延片毛利率高于抛光片
投资要点对比:
| 公司 | 12寸能力 | 核心优势 | 主要缺点 | 适合投资者 |
|---|---|---|---|---|
| 沪硅产业 | 已量产 | 12寸先发、认证进度领先 | 盈利能力弱、持续亏损 | 国产替代主题配置 |
| TCL中环 | 验证中 | 成本控制能力、规模效应 | 半导体业务占比低 | 跨行业配置 |
| 立昂微 | 小批量 | 功率半导体赛道、SiC布局 | 12寸进展慢 | 功率半导体产业链 |
二、化合物半导体:超越硅的物理极限
硅的物理极限(电子迁移率、击穿电压、热导率)限制了其在射频、高功率、高频等特定场景的应用。化合物半导体通过两种或多种元素组合,突破硅的性能瓶颈。
GaAs(砷化镓):射频前端的核心
为什么是砷化镓?
GaAs的电子迁移率是硅的6倍,禁带宽度(1.42 eV)是硅的1.1倍,适合制造高频射频芯片。在5G时代,射频前端的复杂度激增,GaAs在功率放大器(PA)领域几乎不可替代。
应用场景:
- 手机射频前端:GaAs PA用于4G/5G手机天线链路,每部5G手机约使用3-5颗GaAs PA
- Wi-Fi前端:Wi-Fi 6/7路由器中的PA
- 卫星通信:高频功率放大
全球格局:
- 稳懋半导体(3105.TW):全球最大的GaAs晶圆代工厂,市占率约60%,代工客户包括博通、Skyworks
- 宏捷科(8086.TW):台湾第二大GaAs代工厂,与稳懋形成双寡头
- 三安光电(600703):中国最大LED企业,化合物半导体代工业务(三安集成)正在布局GaAs/GaN,PA代工已实现小批量出货
A股机会: 三安光电的化合物半导体业务是长期看点,但目前仍处于产能建设和客户认证阶段,2024年化合物半导体业务营收预计不足20亿元,短期内难以贡献显著利润。
SiC(碳化硅):电动车革命的关键材料
为什么是碳化硅?
SiC的禁带宽度(3.26 eV)是硅的3倍,热导率是硅的3倍,击穿电场强度是硅的10倍。这使得SiC功率器件在高压、高温、高频环境下性能远超硅基IGBT/MOSFET。
电动车为什么必须用SiC?
电动车逆变器将电池的直流电转换为驱动电机的交流电。传统硅基IGBT在转换过程中约有3-5%的能量损失,而SiC MOSFET可以将损失降至1%以下。以100kWh电池的电动车为例,SiC带来的效率提升可增加约15-25公里的续航里程。
特斯拉的示范效应: 特斯拉Model 3率先在主驱逆变器中采用SiC MOSFET(STMicro的SiC器件),引发全球车企跟进。2024年,比亚迪、小鹏、蔚来、吉利等主流车企均已推出搭载SiC的旗舰车型。
SiC衬底市场格局:
| 公司 | 总部 | 6寸SiC衬底能力 | 8寸进展 |
|---|---|---|---|
| Wolfspeed | 美国 | 6寸量产,8寸试产 | 全球龙头,财务困境 |
| 意法半导体 | 欧洲 | 6寸量产 | 收购Norstel |
| 罗姆 | 日本 | 6寸量产 | 收购SiCrystal |
| 天科合达 | 中国 | 6寸量产 | 8寸在研 |
| 山东天岳 | 中国 | 6寸量产 | 8寸在研 |
| 三安光电 | 中国 | 6寸量产 | 8寸布局 |
A股核心公司:
- 三安光电(600703):SiC垂直一体化布局(从衬底到器件),湖南三安碳化硅量产线已投产,2024年SiC产能约1万片/月
- 天岳先进(688234):国内SiC衬底龙头,6寸导电型SiC衬底已实现批量供货,8寸正在研发
- 天科合达(未上市):国内最早实现SiC衬底量产的企业,4寸/6寸技术成熟
- 露笑科技(002617):SiC长晶炉设备商,切入衬底领域
- 东尼电子(603595):SiC长晶和衬底加工
投资逻辑: SiC是电动车800V高压平台的核心受益方向。预计2025年全球SiC器件市场规模将超过60亿美元,衬底约占器件成本的50%。中国在SiC衬底领域与全球龙头差距小于硅基半导体,是国产替代的重要突破口。但需警惕:SiC长晶速度慢(每周约1-2mm厚),良率控制难度大,产能扩张并非一蹴而就。
GaN(氮化镓):快充与5G的效率革命
氮化镓的特性:
GaN的禁带宽度(3.39 eV)介于SiC和GaAs之间,电子迁移率高于SiC但低于GaAs。GaN的独特优势在于其可以在硅衬底上外延生长(GaN-on-Si),大幅降低材料成本,同时具备良好的高频性能。
核心应用场景:
| 应用 | 电压范围 | 核心优势 | 市场驱动 |
|---|---|---|---|
| 快充(Power Delivery) | 15-100V | 开关频率高,充电器体积小 | 手机/笔记本快充渗透率提升 |
| 5G基站(射频功放) | 48V | 高频特性好,效率高 | 全球5G基站建设 |
| 激光雷达(Driver) | 100V+ | 开关速度快 | 自动驾驶渗透 |
| 数据中心电源 | 48V/12V | 功率密度高 | AI服务器功耗增长 |
GaN vs SiC 的分工:
- SiC:主攻1200V以上超高电压(电动车主驱、工业电源)
- GaN:主攻15-600V中低压(消费电子快充、5G射频、数据中心)
A股布局:
- 三安光电(600703):GaN代工业务已有营收,射频GaN已向客户送样
- 英诺赛科(未上市):国内最大的GaN IDM企业,8寸GaN-on-Si产线已量产,应用领域覆盖快充、激光雷达、数据中心
- 赛微电子(300456):MEMS代工厂,收购的瑞典Silex有GaN外延代工能力
投资要点: GaN目前最大的单体市场是手机快充充电器。2024年小米、OPPO、vivo、三星等主流手机厂商的旗舰机型已全部标配GaN快充,GaN充电器渗透率从2020年的不足5%提升至2024年的约25%。随着8寸GaN-on-Si成本持续下降,GaN在数据中心48V配电方案中的渗透率也在提升。
三、投资要点:化合物半导体的三重逻辑
AI电源:SiC/GaN的新战场
AI服务器功耗从传统服务器的500W跃升至H100系统的700W(单GPU),一个标准8卡服务器系统功耗超过6kW。传统的硅基功率器件在如此高功耗场景下效率损失严重、热管理压力大。
SiC在AI电源中的应用:
- AI服务器的48V-12V DC-DC转换器
- 主板VRM(电压调节模块)
- 浸没式液冷散热系统的功率模块
电动车:SiC已经是明牌
全球电动车SiC渗透率预计将从2023年的约8%提升至2027年的约25%。一辆搭载SiC的电动车需要约10-12颗SiC MOSFET(主驱6颗+OBC/空调/DC-DC各2-3颗),单颗衬底消耗量约0.5-1平方厘米。
快充:GaN消费电子快速渗透
氮化镓快充功率从65W向100W/200W演进,笔记本、游戏机、平板的"万物皆可充"推动GaN充电器市场年复合增长率超过40%。
本章小结
晶圆制造材料是半导体产业链的技术制高点之一:
- 硅片:8寸/12寸分化格局确立,12寸是AI芯片的唯一选择,沪硅产业是A股12寸硅片最纯正的配置标的
- GaAs:射频前端不可替代,稳懋/宏捷科主导代工,三安光电是国内最有潜力的 GaAs 代工参与者
- SiC:电动车800V平台的核心,衬底到器件一体化是趋势,天岳先进、三安光电值得关注
- GaN:快充/5G基站双轮驱动,英诺赛科是国内GaN IDM的领军者
化合物半导体是打破硅物理极限的关键,AI时代对功率密度的极致追求为SiC/GaN打开了远超硅的市场空间。
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| TrendForce DRAMeXchange | 2026-06 | 🟡第三方研究 | 中 |
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